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- 4.这里将年产5000吨“芯片血液”——项目建设一线纪行⑬眼下,在位于沧州临港经济技术开发区的沧州华宇特种气体科技有限公司,年产5000吨电子特气项目设备安装进入扫尾阶段。该项目是河北省重点建设项目,主要生产电子级硅烷气,可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、动力电池等行业。项目的投产,将进一步加速我国电子级硅烷气的国产化替代进程。电子特种气体是国家大力支持发展的新材料,被称为“芯片血液”,应用在集成电路制造中的刻蚀、薄膜沉积等环节,对集成电路的性能、集成度和成品率有较大影响,是晶圆生产中的关键材料。电子级硅烷气就是一种高纯度的电子特种气体。4月3日,记者在项目建设现场看到,高达80多米的精馏塔已安装完毕。数个安装好的巨大罐体连通密密麻麻的管道,和精馏塔以及车间共同构成项目装置主体。“现在,全公司上下都铆足干劲,每天加班加点,全力确保项目如期竣工投产。”沧州华宇特种气体科技有限公司总经理徐立勇说。近年来,通过市场观察,华宇公司敏锐地发现,快速发展的集成电路制造业和新能源产业,对电子级硅烷气的需求极大增长。然而,我国电子级硅烷气生产却面临“卡脖子”问题。“我国电子级硅烷气产品产能小,进口依赖度高,关键核心技术面临国外封锁,生产装置国产化水平低。”徐立勇说。瞄准“卡脖子”的难题发力,挺进新赛道,2023年1月,沧州华宇特种气体科技有限公司开工建设了年产5000吨电子特种气体项目。该项目总投资10.8亿元,建设的硅烷气生产装置国产化率达80%,将成为全国单套产能最大的硅烷气生产装置。项目投产后,每年可生产5000吨电子级硅烷气,可实现产值20亿元、税收3.2亿元。该项目最大的亮点,是采用了企业自主研发、国际领先的反应精馏歧化技术。“反应精馏歧化技术主要特点是适合大规模生产,产出的电子级硅烷气纯度高,整个系统闭路循环,生产过程安全又环保。”徐立勇说,该技术以三氯氢硅为原料,在精馏塔内,将三氯氢硅反应为硅烷气和四氯化硅,同时通过精馏塔将未反应的三氯氢硅、反应产物及时分离,保证了反应的连续进行,形成了完整的物料循环,大大降低了生产成本。在研发反应精馏歧化技术过程中,为提高精馏效率,达到品质最优,实现节能降耗,企业选择了与中国科学院过程工程研究所合作。双方研发团队针对装置反应精馏过程中的耦合方式,进行了十余次实验。最终,选择了精馏塔自耦合和多塔连续耦合这两种方式。“你看最粗的那座塔,实现了三塔合一,气提塔、反应塔和精馏塔耦合到一起,这是我们这套硅烷气生产装置的最大特色。”在项目现场,指着远处的高塔,徐立勇说,三个塔耦合为一个塔,让电子级硅烷气生产中蒸汽消耗大为降低,生产成本比行业平均水平低20%到30%,产品竞争力大大提高。“作为国家循环化改造示范试点园区,我们坚持以集群化思路发展战略性新兴产业,积极推动行业横向链接、产业纵向延伸,大力推进年产5000吨电子特种气体项目等一批大项目、好项目加快建设。”沧州临港经济技术开发区管委会副主任李森表示,项目投产在即,他们将继续做好项目服务,全力保障水、电、气等各项生产要素供应,为项目在新赛道中“加速跑”保驾护航。
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